非接触式测量粗糙度应用领域与典型案例:
非接触式测量技术已广泛应用于**制造、生命科学、半导体、新能源等领域,以下为具体案例:
精密机械加工
场景:发动机汽缸、刀具刀口等部件的表面粗糙度检测。
技术:激光共聚焦显微镜,实现微米级粗糙度测量,确保部件耐磨性和密封性。
生命科学
场景:血管支架镀层厚度测量、组织结构分析。
技术:白光干涉仪,非接触式测量避免损伤生物样本,同时提供高精度形貌数据。
半导体制造
场景:晶圆表面粗糙度、光刻图形凹槽深度测量。
技术:AFM轻敲模式,原子级分辨率满足先进制程需求(如3nm芯片制造)。
太阳能产业
场景:电池片栅线3D形貌表征、制绒后表面粗糙度分析。
技术:白光干涉仪,快速获取大面积三维数据,优化电池片光吸收效率。
纸张与货币检测
场景:纸张表面三维形貌测量、防伪特征分析。
技术:激光共聚焦显微镜,非接触式测量避免破坏样本,同时提供高分辨率形貌数据。